產(chǎn)品中心
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無(wú)損檢測(cè)
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測(cè)厚儀 硬度計(jì) 測(cè)振儀 探傷儀
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氣體檢測(cè)儀,力學(xué)儀器
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- 二氧化氮檢測(cè)儀
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- 高斯計(jì),環(huán)境測(cè)量?jī)x器
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氣體檢測(cè)儀,力學(xué)儀器
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電工儀表
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溫度儀表 轉(zhuǎn)速測(cè)量?jī)x
- 功率表
- 表筆
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示波器 接地電阻測(cè)試儀 絕緣...
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- 電容測(cè)試儀
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安規(guī)測(cè)試儀 鉗形表 萬(wàn)用表
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- 絕緣監(jiān)測(cè)儀
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- 模擬發(fā)生器
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溫度儀表 轉(zhuǎn)速測(cè)量?jī)x
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自動(dòng)化儀表
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溫度控制器 記錄儀
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液位計(jì) 流量計(jì)
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- 皂膜流量計(jì)
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- 液位變送器
- 電容物位計(jì)
- 液位開(kāi)關(guān)
- 浮子液位計(jì)
- 渦輪流量計(jì)
- 刮板流量計(jì)
- 玻璃板液位計(jì)
- 射頻導(dǎo)納料位開(kāi)關(guān)
- 屏蔽流量計(jì)
- 浮子流量計(jì)
- 阻旋式料位開(kāi)關(guān)
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- 磁感應(yīng)流量計(jì)
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- 小型長(zhǎng)圖記錄儀
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- 電容式物位計(jì)
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- 電磁流量計(jì)
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熱電偶 溫度計(jì) 溫度變送器
- 熱電偶計(jì)
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- 轉(zhuǎn)速測(cè)量?jī)x
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- 伺服電機(jī)
- 伺服驅(qū)動(dòng)器
- 機(jī)器人
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- 端子臺(tái)轉(zhuǎn)換單元
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- 巡更棒
- 表面熱電偶
- 裝配式熱電偶
- 耐磨熱電偶
- 雙金屬溫度計(jì)
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- 溫度計(jì)
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- 貴金屬熱電偶
- 熱電偶配件
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- 電接點(diǎn)雙金屬溫度計(jì)
- 溫度變送器
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- 隔爆熱電偶
-
溫度控制器 記錄儀
-
水質(zhì) 天平 試驗(yàn)箱
-
電子天平 機(jī)械天平
- 材料試驗(yàn)機(jī)
- 拉力試驗(yàn)機(jī)
- 彈簧試驗(yàn)機(jī)
- 彈簧拉壓試驗(yàn)機(jī)
- 空氣發(fā)生器
- 瓶蓋扭力計(jì)
- 扭轉(zhuǎn)試驗(yàn)機(jī)
- 錐入度儀
- 力學(xué)天平
- 濕度調(diào)節(jié)箱
- 氫空一體機(jī)
- 標(biāo)準(zhǔn)天平
- 物理天平
- 鏈條天平
- 架盤天平
- 工業(yè)天平
- 比重天平
- 脫色搖床
- 應(yīng)力儀
- 測(cè)試機(jī)臺(tái)
- 扭矩板手
- 水浴鍋
- 磁力平底電熱套
- 皮帶秤
- 萬(wàn)能試驗(yàn)機(jī)
- 漆膜測(cè)試儀
- 旋渦混合器
- 混勻儀
- 金相切割機(jī)
- 磨拋機(jī)
- 水質(zhì)監(jiān)測(cè)儀器
- 實(shí)驗(yàn)室儀器
- 培養(yǎng)箱 干燥箱
-
電子天平 機(jī)械天平
- 電磁閥及氣動(dòng)元件
-
低壓電器及開(kāi)關(guān)
-
開(kāi)關(guān)柜及相關(guān)配件
- 高度限制器
- 交流電流表
- 失速開(kāi)關(guān)
- 堵料開(kāi)關(guān)
- 縱向撕裂檢測(cè)器
- 溜槽堵塞檢測(cè)器
- 超速開(kāi)關(guān)
- 三色電源指示燈
- 刀形隔離器
- **開(kāi)關(guān)
- 電纜滑車
- 滑觸線
- 配電柜
- 電壓表
- 電磁**鎖
- 數(shù)字面板表
- 積算器
- 電動(dòng)信號(hào)阻尼器
- 配電器
- 雙向平衡拉繩開(kāi)關(guān)
- 防水雙向拉繩開(kāi)關(guān)
- 顯示燈
- 堵煤開(kāi)關(guān)
- 阻旋式料位開(kāi)關(guān)
- 縱向撕裂開(kāi)關(guān)
- 縱向撕裂保護(hù)裝置
- 時(shí)控開(kāi)關(guān) 路燈控制器
- 電流電度表
- 電磁鐵
- 開(kāi)關(guān)電源
-
傳感器 接近開(kāi)關(guān)
- 環(huán)境傳感器
- 防爆跑偏開(kāi)關(guān)
- 水銀開(kāi)關(guān)
- 電感式接近傳感器
- 電感型接近開(kāi)關(guān)
- 電感傳感器
- 給定器
- 方形接近開(kāi)關(guān)
- 耐高溫接近開(kāi)關(guān)
- 模擬量接近開(kāi)關(guān)
- 防爆接近開(kāi)關(guān)
- 料流檢測(cè)器
- 對(duì)射光電開(kāi)關(guān)
- 漫反射光電開(kāi)關(guān)
- 渦流傳感器
- 欠速開(kāi)關(guān)
- 速度檢測(cè)器
- 皮帶跑偏開(kāi)關(guān)
- 防爆雙向拉繩開(kāi)關(guān)
- 防水跑偏開(kāi)關(guān)
- 傾斜開(kāi)關(guān)
- 拉線開(kāi)關(guān)
- 堵塞開(kāi)關(guān)
- 撕裂開(kāi)關(guān)
- 打滑開(kāi)關(guān)
- 光電開(kāi)關(guān)
- 磁性開(kāi)關(guān)
- 霍爾開(kāi)關(guān)
- 兩級(jí)跑偏開(kāi)關(guān)
- 雙向拉繩開(kāi)關(guān)
-
按鈕開(kāi)關(guān) 繼電器
- 電阻器
- 隔離開(kāi)關(guān)
- 滑線指示燈
- 斷線報(bào)警器
- 斷火限位器
- 模組繼電器
- 接觸器式繼電器
- 撥碼開(kāi)關(guān)
- 緊急停止用按鈕開(kāi)關(guān)
- D4C限位開(kāi)關(guān)
- D4N系列限位開(kāi)關(guān)
- 施邁賽限位開(kāi)關(guān)
- 防撞儀
- 警報(bào)器
- 警示燈
- 語(yǔ)音報(bào)警器
- 工業(yè)聲光報(bào)警器
- 速度開(kāi)關(guān)
- 重型限位開(kāi)關(guān)
- 倒順開(kāi)關(guān)
- 限位開(kāi)關(guān)
- 無(wú)浮標(biāo)開(kāi)關(guān)
- 微動(dòng)開(kāi)關(guān)
- 固態(tài)繼電器
- 沖擊繼電器
- 過(guò)流繼電器
- 升流器
- 電磁繼電器
- 信號(hào)燈
- 按鈕開(kāi)關(guān)
-
接觸器 空氣開(kāi)關(guān)
- 接地報(bào)警器
- 防爆聲光報(bào)警器
- 電流傳感器
- 電流變送器
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- 電動(dòng)機(jī)保護(hù)開(kāi)關(guān)
- 漏電自動(dòng)開(kāi)關(guān)
- 電涌保護(hù)器
- 多重電路保護(hù)器
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開(kāi)關(guān)柜及相關(guān)配件
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聯(lián)系我們
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產(chǎn)品詳情
簡(jiǎn)單介紹:
真空泵D60C雙級(jí)旋片泵TRIVAC C是雙級(jí)油封式旋片真空泵,TRIVAC C的高效,可靠,低噪音,易維護(hù)的設(shè)計(jì)特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用,也可做為大型真空系統(tǒng)的前級(jí)泵使用。
詳情介紹:
真空泵D60C雙級(jí)旋片泵
擴(kuò)散泵
德國(guó)萊寶于九十年代研發(fā)的*新型的DIP系列大口徑擴(kuò)散泵,對(duì)傳統(tǒng)擴(kuò)散泵在許多方面做了重大改進(jìn),其主要特點(diǎn):
- 抽速大;抽速范圍為3000~50000升/秒(ISO/DIN國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),既中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)),共分六種規(guī)格;
- 泵壁有凹槽,冷卻水管臥在凹槽內(nèi),增大了接觸面積,冷卻效果好;
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板并使用DIFFELEN普通礦物油,其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鐘,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鐘;
萊寶真空泵D60C雙級(jí)旋片泵
TRIVAC C是雙級(jí)油封式旋片真空泵,TRIVAC C的高效,可靠,低噪音,易維護(hù)的設(shè)計(jì)特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用,也可做為大型真空系統(tǒng)的前級(jí)泵使用。
保修期自發(fā)貨之日起12個(gè)月。
- 抽速:8m3/h~60m3/h
- 極限分壓強(qiáng):10-4mbar c/s
- 內(nèi)置防返油閥
TRIVAC C是雙級(jí)油封式旋片真空泵,TRIVAC C的高效,可靠,低噪音,易維護(hù)的設(shè)計(jì)特別適用于科研、化工、分析儀器以及制冷業(yè)和電光源產(chǎn)品的生產(chǎn)使用,也可做為大型真空系統(tǒng)的前級(jí)泵使用。
保修期自發(fā)貨之日起12個(gè)月。
- 抽速:8m3/h~60m3/h
- 極限分壓強(qiáng):10-4mbar c/s
- 內(nèi)置防返油閥
|
|
|
D8C
|
D16C
|
D30C
|
D40C
|
D60C
|
|
Nominal Pumping Speed (50Hz)
|
m3/h
|
9.25
|
19.48
|
37.01
|
49.44
|
74.02
|
|
Pumping Speed
|
m3/h
|
8.11
|
17.01
|
32.24
|
42.99
|
64.37
|
|
Nominal Pumping Speed (60Hz)
|
m3/h
|
11.10
|
23.39
|
44.41
|
59.33
|
88.82
|
|
Pumping Speed
|
m3/h
|
9.65
|
20.33
|
38.64
|
51.78
|
72.23
|
|
Ultimate Partial Pressure Without GB
|
mbr
|
4×10-4
|
4×10-4
|
4×10-4
|
4×10-4
|
4×10-4
|
|
Ultimate Total Pressure Without GB
|
mbr
|
3×10-3
|
3×10-3
|
3×10-3
|
3×10-3
|
3×10-3
|
|
Ultimate Total Pressure With GB
|
mbr
|
6×10-3
|
6×10-3
|
6×10-3
|
6×10-3
|
6×10-3
|
|
Water vapour tolerance
|
mbr
|
30
|
20
|
40
|
20
|
25
|
|
Connecting inlet and exhaust
|
DN
|
KF25
|
KF25
|
KF40
|
KF40
|
KF40
|
|
Noise (sound pressure level at 1m with GB closed/open(50Hz))
|
db
|
54/56
|
55/58
|
58/60
|
58/60
|
58/60
|
|
Oil filling (Max/Min)
|
1
|
1.1/0.7
|
1.5/1.0
|
3.7/3.2
|
5.0/4.4
|
5.0/4.5
|
|
Weight without oil filling
|
Kg
|
27
|
31
|
69
|
83
|
84
|
|
Ambient temperature (Max/Min)
|
℃
|
40/10
|
40/10
|
40/10
|
40/10
|
40/10
|
|
Motor power 1Ph.220V.60Hz
|
W
|
550
|
750
|
|
|
|
|
Total Length
|
mm
|
471
|
560
|
|
|
|
|
Catalog
|
|
31046
|
31050
|
|
|
|
|
Motor power 3Ph.380V.50/60Hz
|
W
|
550
|
750
|
1500
|
1500
|
2200
|
|
Total Length
|
mm
|
500
|
540
|
650
|
760
|
780
|
|
Catalog
|
|
31018
|
31091
|
31108
|
31159
|
31158
|
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:1.6m3/h~65m3/h
極限真空度:10-4mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
2×10-3mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))
5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn):
1、內(nèi)置油泵,對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥,可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止,防止返油。
3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、極強(qiáng)的耐水蒸汽能力。
另外,萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
- 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX,ATEX認(rèn)證防爆泵。
- 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
單級(jí)旋片泵
德國(guó)萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:10m3/h~1400m3/h
極限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B極限真空度為
<0.5mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的極限真空度為
<8×10-2mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<7×10-1mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時(shí)
萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有:
1、超強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無(wú)油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。
6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。
7、低噪音,低振動(dòng)。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
抽速:1.6m3/h~65m3/h
極限真空度:10-4mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
2×10-3mbar(無(wú)氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))
5×10-3mbar(帶氣鎮(zhèn)全壓強(qiáng))
耐水蒸汽能力:25mbar~40mbar
德國(guó)萊寶的TRIVAC B系列雙級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn):
1、內(nèi)置油泵,對(duì)泵腔進(jìn)行強(qiáng)制潤(rùn)滑。因此可以在入口壓強(qiáng)為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
2、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥,可在停泵時(shí)自動(dòng)將進(jìn)氣口截止,防止返油。
3、進(jìn)氣口和排氣口有水平或垂直兩種安裝方式。
4、極強(qiáng)的耐水蒸汽能力。
另外,萊寶的TRIVAC B家族中還有以下用于特殊用途的真空泵。
- 專門用于汽車剎車油注入的TRIVAC D16 B-DOT。
- 用于制冷行業(yè)中充注R290和R600A冷媒的防爆泵TRIVAC D168B-EX,ATEX認(rèn)證防爆泵。
- 用于半導(dǎo)體行業(yè)的防腐蝕泵TRIVAC BCS系列。
單級(jí)旋片泵
德國(guó)萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
抽速:10m3/h~1400m3/h
極限真空度:
SV10B,SV16B,SV25B,SV40B,SV65B,SV100B極限真空度為
<0.5mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<1.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
SV200,SV300,SV500,SV630/B/BF,SV750/B,SV1200,SV1400的極限真空度為
<8×10-2mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
<7×10-1mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
排水蒸氣能力:0.3~23公斤/小時(shí)
萊寶的SOGEVAC系列單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有:
1、超強(qiáng)的排除水蒸氣的能力。
2、出口油霧過(guò)濾器為標(biāo)準(zhǔn)配置,真空泵油循環(huán)使用,無(wú)油煙,清潔、環(huán)保、省油。
3、可以在進(jìn)口壓力為大氣壓的情況下連續(xù)工作。
4、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
5、內(nèi)置自動(dòng)防返油閥。
6、SV630以下為風(fēng)冷,不需要水冷,經(jīng)濟(jì)方便。
7、低噪音,低振動(dòng)。
8、結(jié)構(gòu)緊湊,體型小,節(jié)省空間。
9、可以與各種附件配套使用,因而可以滿足各種不同應(yīng)用的需要。
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德國(guó)萊寶的SOGEVAC BI 系列單級(jí)油封旋片泵的主要技術(shù)參數(shù)為:
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SV16BI
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SV40BI
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抽速:
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16m3/h
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40m3/h
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排水蒸氣能力:
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0.03公斤/小時(shí)
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0.2公斤/小時(shí)
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極限真空度:
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≤0.05mbar (無(wú)氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng))
≤0.5mbar (帶氣鎮(zhèn)分壓強(qiáng)) |
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SOGEVAC BI單級(jí)油封旋片泵的主要特點(diǎn)有:
1、極限壓強(qiáng)更低。
2、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
3、適用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)室、照明、汽車等。
1、極限壓強(qiáng)更低。
2、在低壓強(qiáng)下仍能保持高的抽速。
3、適用于分析儀器、實(shí)驗(yàn)室、照明、汽車等。
膜片泵
單級(jí)膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:100mbar
- 噪音:51~60DB
雙級(jí)膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:8mbar
- 噪音:47~52DB
DIVAC系列的主要特點(diǎn):
1、無(wú)油真空泵。
2、可選配氣鎮(zhèn)閥,耐水蒸氣能力強(qiáng)。
3、所有與介質(zhì)接觸的部件均由PTFE(聚四氟乙烯)和PVDF(聚偏氟乙烯)制成,因而具有極好的耐腐蝕性和耐溶劑性。可以用來(lái)抽除任何化學(xué)介質(zhì)。
4、緊湊,體積小。
5、易于**凝聚物,易于更換膜片。
低極限真空、低震動(dòng)的膜片泵DIVAC
0.8T,0.8LT,2.5T,2.5VT,3.6LT,4.8VT
- 抽速:0.8~4.8m3/h
- 極限真空:0.5~3mbar
- 噪音:49~55DB
特點(diǎn):
1、極限壓強(qiáng)低,抽速大。
2、低震動(dòng),低噪音。
3、可用于德國(guó)萊寶TW系列的前級(jí)泵。
單級(jí)膜片泵DIVAC0.6、1.2、2.2
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:100mbar
- 噪音:51~60DB
雙級(jí)膜片泵DIVAC 0.6L、1.2L、2.2L
- 抽速:0.6~2.2m3/h
- 極限真空:8mbar
- 噪音:47~52DB
DIVAC系列的主要特點(diǎn):
1、無(wú)油真空泵。
2、可選配氣鎮(zhèn)閥,耐水蒸氣能力強(qiáng)。
3、所有與介質(zhì)接觸的部件均由PTFE(聚四氟乙烯)和PVDF(聚偏氟乙烯)制成,因而具有極好的耐腐蝕性和耐溶劑性。可以用來(lái)抽除任何化學(xué)介質(zhì)。
4、緊湊,體積小。
5、易于**凝聚物,易于更換膜片。
低極限真空、低震動(dòng)的膜片泵DIVAC
0.8T,0.8LT,2.5T,2.5VT,3.6LT,4.8VT
- 抽速:0.8~4.8m3/h
- 極限真空:0.5~3mbar
- 噪音:49~55DB
特點(diǎn):
1、極限壓強(qiáng)低,抽速大。
2、低震動(dòng),低噪音。
3、可用于德國(guó)萊寶TW系列的前級(jí)泵。
羅茨泵
在250~2050米3/小時(shí)的抽速范圍內(nèi),德國(guó)萊寶的羅茨泵的電機(jī)有直聯(lián)式(WA/WAU)和封閉式(WS/WSU)兩種規(guī)格,每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動(dòng)的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。
為了滿足某些行業(yè)中對(duì)大抽速羅茨泵的需要,德國(guó)萊寶還有另一個(gè)系列的大型羅茨泵(RA系列),其抽速為3900~13000米3/小時(shí)。
德國(guó)萊寶的RUVAC羅茨泵與專用的變頻器配合使用,可使泵的抽速增加(*大)100%,從而彌補(bǔ)了各規(guī)格之間的抽速空擋。
另外,德國(guó)萊寶還提供專門用于激光應(yīng)用的羅茨循環(huán)風(fēng)機(jī)。
德國(guó)萊寶羅茨泵的主要特點(diǎn):
萊寶所有規(guī)格的羅茨泵均采用風(fēng)冷,無(wú)需循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
WAU/WSU系列可以在大氣下啟動(dòng),既可簡(jiǎn)化系統(tǒng)的控制程序,又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機(jī)組的抽速。
在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi),即使在極限壓強(qiáng)附近,都具有很高的抽速。
加工精度高,可將前級(jí)真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
震動(dòng)小,噪音低。
有立式泵和臥式泵可供選擇。
WS/WSU系列為CANNED電機(jī),與無(wú)油前級(jí)泵組合,可組成無(wú)油真空機(jī)組。
可以與變頻器配合使用,以增加或降低抽速。
在250~2050米3/小時(shí)的抽速范圍內(nèi),德國(guó)萊寶的羅茨泵的電機(jī)有直聯(lián)式(WA/WAU)和封閉式(WS/WSU)兩種規(guī)格,每種規(guī)格又分為帶逸流閥、可在大氣下啟動(dòng)的WAU/WSU和不帶逸流閥的WA/WS的兩種形式。
為了滿足某些行業(yè)中對(duì)大抽速羅茨泵的需要,德國(guó)萊寶還有另一個(gè)系列的大型羅茨泵(RA系列),其抽速為3900~13000米3/小時(shí)。
德國(guó)萊寶的RUVAC羅茨泵與專用的變頻器配合使用,可使泵的抽速增加(*大)100%,從而彌補(bǔ)了各規(guī)格之間的抽速空擋。
另外,德國(guó)萊寶還提供專門用于激光應(yīng)用的羅茨循環(huán)風(fēng)機(jī)。
德國(guó)萊寶羅茨泵的主要特點(diǎn):
萊寶所有規(guī)格的羅茨泵均采用風(fēng)冷,無(wú)需循環(huán)冷卻水系統(tǒng)。
WAU/WSU系列可以在大氣下啟動(dòng),既可簡(jiǎn)化系統(tǒng)的控制程序,又提高了從大氣壓到10mbar范圍內(nèi)機(jī)組的抽速。
在很寬的壓強(qiáng)范圍內(nèi),即使在極限壓強(qiáng)附近,都具有很高的抽速。
加工精度高,可將前級(jí)真空度提高一個(gè)數(shù)量級(jí)。
震動(dòng)小,噪音低。
有立式泵和臥式泵可供選擇。
WS/WSU系列為CANNED電機(jī),與無(wú)油前級(jí)泵組合,可組成無(wú)油真空機(jī)組。
可以與變頻器配合使用,以增加或降低抽速。
分子泵機(jī)組
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格,抽速自50至1100升/秒,極限真空度為<10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為:
- 陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行 時(shí)間長(zhǎng)。
- 允許任意角度安裝。
- 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
- 對(duì)H2的壓縮比大。
- 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的超高真空。
萊寶的TUBOVAC系列陶瓷軸承渦輪分子泵有五種規(guī)格,抽速自50至1100升/秒,極限真空度為<10-10mbar。
其主要特點(diǎn)為:
- 陶瓷軸承為脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行 時(shí)間長(zhǎng)。
- 允許任意角度安裝。
- 有水冷和風(fēng)冷兩種選擇。
- 對(duì)H2的壓縮比大。
- 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的超高真空。
TW系列復(fù)合分子泵
抽速:70 ~ 1600 升/秒
極限真空度:10-9 mbar
*大允許前級(jí)壓強(qiáng):6 ~ 14mbar
主要特點(diǎn)有:
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型,消除了葉片應(yīng)力,使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ,并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng),使其在絕大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì),避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
- 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦, PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò),以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù),以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄;并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改,如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求,使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
抽速:70 ~ 1600 升/秒
極限真空度:10-9 mbar
*大允許前級(jí)壓強(qiáng):6 ~ 14mbar
主要特點(diǎn)有:
- 轉(zhuǎn)子葉片為一次成型,消除了葉片應(yīng)力,使得前級(jí)耐壓高達(dá) 14mbar ,并能抵抗短暫的大氣沖擊。
-高效的風(fēng)冷系統(tǒng),使其在絕大多數(shù)工作條件下無(wú)需冷水。
- 變頻器與泵體的一體化設(shè)計(jì),避免了連接變頻器帶來(lái)的不便。
- 模塊化的設(shè)計(jì)為用戶提供了多種選擇。
- 結(jié)構(gòu)緊湊,可方便地安裝到復(fù)雜的系統(tǒng)中。
- 可以任意角度安裝。
- 螺旋式的拖動(dòng)級(jí)耐粉塵能力強(qiáng)。
- 軸承為油脂潤(rùn)滑,無(wú)維護(hù)運(yùn)行時(shí)間長(zhǎng)。
- 無(wú)油真空泵,可用來(lái)產(chǎn)生潔凈的高真空和超高真空。
- 可在軸承需要維護(hù)時(shí)提前預(yù)警。
- 通過(guò)通訊接口可以與掌上電腦, PC 或 PLC 聯(lián)絡(luò),以讀取分子泵工作狀態(tài)的參數(shù),以及儲(chǔ)存單元的運(yùn)行記錄;并可根據(jù)需要對(duì)某些參數(shù)進(jìn)行修改,如頻率等。
- 高前級(jí)耐壓降低了對(duì)前級(jí)泵的要求,使得系統(tǒng)總體造價(jià)降低。
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新一代數(shù)字化控制,五軸定位的磁懸浮分子泵
MAG 1500C/CT,MAG2000C/CT,MAG2200C/CT,MAG 2800C/CT,MAG 3200C/CT
抽速:1500l/s ~ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),自平衡性能好全無(wú)油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金,一次高速銑削成形,應(yīng)力小,強(qiáng)度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎;轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶**技術(shù)的 KAPLAR 涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體;
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度,有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命;
葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承,壽命長(zhǎng)( >600 次),無(wú)需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用 ISO-F ,連接螺栓強(qiáng)度高,充分保障**。
智能化電源,無(wú)需 UPS 。
帶拖動(dòng)級(jí),前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié),使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
*先進(jìn)的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置;
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ),提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息;
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制,信號(hào)處理速度快,系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí),磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短;
在氣流長(zhǎng)時(shí)間( 2 分鐘以上)過(guò)大,而使泵負(fù)載過(guò)高,發(fā)熱量過(guò)大時(shí),泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié),使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識(shí)別性,可互換。
免維護(hù)。
典型應(yīng)用:
適用于
所有半導(dǎo)體主要制程:刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜
另外,萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。
MAG 1500C/CT,MAG2000C/CT,MAG2200C/CT,MAG 2800C/CT,MAG 3200C/CT
抽速:1500l/s ~ 3200l/s
五軸定位雙端磁懸浮軸承系統(tǒng),自平衡性能好全無(wú)油,耐粉塵、抗氣流沖擊。
轉(zhuǎn)子采用高強(qiáng)度鋁合金,一次高速銑削成形,應(yīng)力小,強(qiáng)度高,耐沖擊,高溫變形量小,轉(zhuǎn)子葉片不易卷曲、打碎;轉(zhuǎn)子長(zhǎng)期運(yùn)行溫度可高達(dá) 120 ℃ 。
轉(zhuǎn)子及定片均采用萊寶**技術(shù)的 KAPLAR 涂層
較鍍鎳的轉(zhuǎn)子具有更強(qiáng)的防腐蝕性能,適用于抽除腐蝕性強(qiáng)的工藝氣體;
降低氣流與轉(zhuǎn)子葉片摩擦產(chǎn)生的熱量,降低轉(zhuǎn)子運(yùn)行溫度,有利于延長(zhǎng)轉(zhuǎn)子壽命;
葉片鍍 KAPLAR 的轉(zhuǎn)子較鍍鎳的轉(zhuǎn)子重量更輕。
保護(hù)軸承為陶瓷軸承,壽命長(zhǎng)( >600 次),無(wú)需更換保護(hù)軸承。
高真空端連接采用 ISO-F ,連接螺栓強(qiáng)度高,充分保障**。
智能化電源,無(wú)需 UPS 。
帶拖動(dòng)級(jí),前級(jí)耐壓在 2mbar 以上。
分子泵運(yùn)行溫度可調(diào)節(jié),使其充分適應(yīng)不同工藝制程。
*先進(jìn)的數(shù)字控制技術(shù)
運(yùn)行速度、溫度可設(shè)置;
運(yùn)行數(shù)據(jù)記錄存儲(chǔ),提供多達(dá) 180 條運(yùn)行信息;
磁懸浮軸承及泵運(yùn)行溫度采用數(shù)字化控制,信號(hào)處理速度快,系統(tǒng)反應(yīng)時(shí)間短
轉(zhuǎn)子受氣流沖擊或雜物不均勻沉積在葉片而使轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡變化時(shí),磁場(chǎng)補(bǔ)償反應(yīng)時(shí)間短;
在氣流長(zhǎng)時(shí)間( 2 分鐘以上)過(guò)大,而使泵負(fù)載過(guò)高,發(fā)熱量過(guò)大時(shí),泵速會(huì)快速自動(dòng)調(diào)節(jié),使泵溫下降到正常水平。
控制器與泵無(wú)識(shí)別性,可互換。
免維護(hù)。
典型應(yīng)用:
適用于
所有半導(dǎo)體主要制程:刻蝕、化學(xué)氣相沉淀及離子注入
科研領(lǐng)域
鍍膜
另外,萊寶公司磁懸浮分子泵系統(tǒng)中還包括單軸定位的 TURBOVAC340M , MAG400 和 MAG 1000 。
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德國(guó)萊寶于九十年代研發(fā)的*新型的DIP系列大口徑擴(kuò)散泵,對(duì)傳統(tǒng)擴(kuò)散泵在許多方面做了重大改進(jìn),其主要特點(diǎn):
- 抽速大;抽速范圍為3000~50000升/秒(ISO/DIN國(guó)際標(biāo)準(zhǔn),既中國(guó)國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)),共分六種規(guī)格;
- 泵壁有凹槽,冷卻水管臥在凹槽內(nèi),增大了接觸面積,冷卻效果好;
- 油蒸氣返流量低。不加外置水冷擋板并使用DIFFELEN普通礦物油,其返流量為1×10-3毫克/厘米2每分鐘,如果采用DC705硅油,返油量可低至1×10-4毫克/厘米2每分鐘;

